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20位数字振镜协议
采用BC2-100 20位数字振镜协议,有效提升分辨率,提升振镜重复定位精度。
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高速度
高达200rad/s的加工速度 (W Tuning)。
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高精度
实现±15um的线间距极差 (W Tuning)。
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高直线度
2um直线度 (M Tuning)。
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多种Tuning
针对不同应用,调整Tuning模式,实现高精/高速/常规等任意加工需求。
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低温漂
机械仿真优化、热仿真优化、算法抑制使得产品发热更小、温漂更低。
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Skywriting
保证加工的首末段打点均匀。
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20位数字振镜协议
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高速度
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高精度
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高直线度
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多种Tuning
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低温漂
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Skywriting
型号及规格参数
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BGT514
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BGT520
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BGT530
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规格参数
数字信号
BC2-100
典型偏转角
±0.349rad
分辨率(20位)
0.67urad
重复定位精度(RMS)
<2.0urad
定位噪声(RMS)
<4.5urad
最大增益漂移
15ppm/k
最大位置漂移
10urad/K
8h温漂,无水冷
<60urad
8h温漂,有水冷
<40urad
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规格参数
数字信号
BC2-100/XY2-100
典型偏转角
±0.349rad
分辨率(20位)
0.67urad
重复定位精度(RMS)
<2.0urad
定位噪声(RMS)
<4.5urad
最大增益漂移
15ppm/k
最大位置漂移
10urad/K
8h温漂,无水冷
<60urad
8h温漂,有水冷
<40urad
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规格参数
数字信号
BC2-100/XY2-100
典型偏转角
±0.349rad
分辨率(20位)
0.67urad
重复定位精度(RMS)
<2.0urad
定位噪声(RMS)
<3.2urad
最大增益漂移
15ppm/k
最大位置漂移
10urad/K
8h温漂,无水冷
<60urad
8h温漂,有水冷
<40urad